[20p-A35-1~9] 3.12 半導体光デバイス

15:30 〜 15:45

[20p-A35-8] シロキサン系樹脂を用いた熱制御転写プリント集積の検討

〇赤星 颯麻¹、安池 伸夫²、西村 達哉²、岡田 敬²、藤田 晃成¹、太田 泰友¹ (1.慶大理工、2.JSR株式会社)

キーワード：

転写プリント

転写プリント法は自在かつ高度な異種材料集積を可能にするハイブリッド光集積技術として期待されている。一般的な転写プリント法ではpolydimethylsiloxaneを転写スタンプとして用いるが、リリース時にはスタンプを転写対象から極めてゆっくりと剥離する必要があり、転写サイクルの高速化を妨げていた。これに対し我々は、接着力に強い温度依存性を示すpolyvinyl-chloride(PVC)を用いた熱制御転写プリント法に注目し、転写集積の高速化を検討してきた。今回、PVCよりも小さな温度差で接着力が変化するシロキサン樹脂を用いた熱制御転写プリント集積を検討したので報告する。