[20p-B3-1~15] 6.3 酸化物エレクトロニクス

16:30 〜 16:45

[20p-B3-14] 原子拡散を用いたp-n接合CuOナノワイヤの作製とセンサ性能評価

〇木村 由斉¹、燈明 泰成¹ (1.東北大院工)

キーワード：

酸化物半導体、化学センサ、ナノワイヤ

原子拡散現象を利用して，加熱によりp-n接合を有するCuOナノワイヤを作製し，その溶液センサ性能を評価した．