[20p-B3-1~15] 6.3 酸化物エレクトロニクス

14:30 〜 14:45奨励賞エントリー

[20p-B3-7] ミスト CVD 法によるサファイア基板上エピタキシャル VO₂ 薄膜の作製

〇森永 亞郎¹、池之上 卓己¹、三宅 正男¹ (1.京大院エネ科)

キーワード：

酸化バナジウム、ミスト CVD