講演情報
[20p-C302-8]ペロブスカイトのバーコート製膜過程におけるメニスカス形状と溶液流の関係性
〇三宅 紹心1、藤井 彰彦1,2、尾﨑 雅則1 (1.阪大院工、2.大阪工大)
キーワード：
バーコート法、メニスカス形状
ペロブスカイトをバーコート製膜し，メニスカスの形状観察と溶液流の解析を行うことで薄膜形成との関係性を検討した．基板温度の上昇に伴ってメニスカス端における接触角の減少が確認され，Navier-Stokes方程式による溶液流解析からメニスカス端方向への流速の増加が示唆された．蒸発領域の製膜条件下では，基板温度の変化に伴う表面形状と膜厚の変化が観察された．掃引速度に対するメニスカス形状の変化に関する詳細も合わせて発表する．
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