[20p-C32-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

13:15 〜 13:30

[20p-C32-2] ナノ結晶シリコン/酸化シリコン複合膜の電気的特性の組成依存性

〇高木 香¹、荒田 朝基²、黒川 康良^2,3、増田 淳^1,4、宇佐美 徳隆^2,3,5、後藤 和泰^1,2,4 (1.新潟大自然研、2.名大院工、3.名大未来機構、4.新潟大 IRCNT、5.名大未材研)

キーワード：

パッシベーティングコンタクト、ナノ構造、作製・評価

近年、極薄SiOxを保護膜としたc-Si太陽電池が高い 変換効率を達成した。さらなる高い性能と信頼性のデバイスの実現に向けて我々は、nc-SiをSiOx膜に埋め込む構造（NATURE contact）を提案し、電気特性の向上を目指している。本研究では、NATURE contactの組成が電気特性に与える影響を実験で検討した。具体的には、SiH₄とCO₂の流量を調整し、AESで組成を評価し、I-V特性を測定した。結果として、酸素濃度の増加が導電性低下を引き起こすことが判明した。このことより、NATURE contactの組成制御によるデバイスの性能を制御できる可能性が示された。