[20p-C32-1~11] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

1:15 PM - 1:30 PM JST(4:15 AM - 4:30 AM UTC)

[20p-C32-2] Dependence of electrical properties of nanocrystalline silicon/silicon oxide composite films on composition

〇Kaori Takagi¹, Asaki Arata², Yasuyoshi Kurokawa^2,3, Atsushi Masuda^1,4, Noritaka Usami^2,3,5, Kazuhiro Gotoh^1,2,4 (1.Niigata Univ., 2.Nagoya Univ., 3.InFuS, Nagoya Univ., 4.IRCNT, Niigata Univ., 5.IMaSS, Nagoya Univ.)

Keywords:

passivating contact,nanostructure,fabrication and evaluation

近年、極薄SiOxを保護膜としたc-Si太陽電池が高い 変換効率を達成した。さらなる高い性能と信頼性のデバイスの実現に向けて我々は、nc-SiをSiOx膜に埋め込む構造（NATURE contact）を提案し、電気特性の向上を目指している。本研究では、NATURE contactの組成が電気特性に与える影響を実験で検討した。具体的には、SiH₄とCO₂の流量を調整し、AESで組成を評価し、I-V特性を測定した。結果として、酸素濃度の増加が導電性低下を引き起こすことが判明した。このことより、NATURE contactの組成制御によるデバイスの性能を制御できる可能性が示された。