[20p-P01-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-P01-7] Cu/C混合ターゲットスパッタリング法で作製したCu-DLCのトライボロジー特性

〇(M2)瀧澤 健太郎¹、平塚 傑工²、中森 秀樹³、金杉 和弥¹、平栗 健二¹ (1.東京電機大工、2.(株)トッケン、3.ナノテック(株))

キーワード：

DLC、銅、抗菌