2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会

CS コードシェアセッション：【CS.7】6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

一般セッション(口頭講演)

[18p-B3-1~12]CS.7 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

2024年9月18日(水) 13:00 〜 16:15

B3 (展示ホールB)

清水 荘雄(物材機構)、 女屋 崇(東大)

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