2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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出展者一覧（薄膜形成・加工装置）

[E-118] （株）アライズテクノロジー

（株）アライズテクノロジー

■低温スパッタリング装置

住所816-0905
福岡県大野城市川久保2-9-7
TEL092-513-0370
FAX092-513-0371
Webサイト・SNS https://arise-tec.com/
[E-86] イー・アンド・イー・エボリューション（株）

イー・アンド・イー・エボリューション（株）

■半導体製造プロセス全般の加工受託サービス ■LED研究開発等のサポート・サービス ■光学系シミュレーション受託サービス

住所468-0073
愛知県名古屋市天白区塩釜口2-1522　名城大学・科学技術創生館3階
TEL052-875-8355
Webサイト・SNS http://eandeev.jp/
[E-84] エア・ウォーター（株）
-高周波デバイス向け高抵抗化基板開発中！-

エア・ウォーター（株）

■3C-SiC(111)-on-Si基板

住所399-8204
長野県安曇野市豊科高家2290-1
TEL0263-71-2510
FAX0263-72-8022
Webサイト・SNS https://products.awi.co.jp/ja/chemical/business/sic-gan/s032
[E-95] （株）エイチ・ティー・エル
-業界をリードする最先端技術と豊富な知識-

（株）エイチ・ティー・エル

■上型サーマル式/プラズマ支援 原子層堆積装置 テーブルトップのALD装置。TiO2、SnO2などの酸化膜やTiN窒化膜Pt、Ruの金属の成膜可能。 ■簡易型熱・UVナノインプリント装置CNIツール 簡易型でデスクトップタイプの熱・UVインプリント装置。8”（インチ）までのモールドとインプリント材料投入が可能 ■ナノインプリント用レジスト・フォトレジスト マイクロエレクトロニクス、半導体・電子デバイス、 MEMS用の高機能材料

住所190-0012
東京都立川市曙町2-16-6　テクノビル3階
TEL042-523-2871
FAX042-523-2803
Webサイト・SNS http://www.htlco.co.jp/
[E-83] ALDジャパン（株）
-Control Atoms!!-

ALDジャパン（株）

■卓上型原子層堆積(ALD)装置（Anric Technologies社製） ■高アスペクト比確認用テストチップ（Chipmetrics社製）　など

住所183-0056
東京都府中市寿町1-3-10-401
TEL042-360-3152
Webサイト・SNS https://aldjapan.com/
[E-93] （株）SDI
-ディップコートのフロントランナー-

（株）SDI

未定

住所600-8815
京都府京都市下京区中堂寺粟田町93　京都リサーチパーク6号館 417号
TEL075-323-0236
FAX075-323-0237
Webサイト・SNS https://www.sdicompany.com/
[E-94] NTTアドバンステクノロジ（株）

NTTアドバンステクノロジ（株）

未定

住所160-0023
東京都新宿区西新宿3-20-2
TEL046-247-0795
Webサイト・SNS https://keytech.ntt-at.co.jp/
[E-82] （株）エピクエスト
-おかげさまで創業40周年！-

（株）エピクエスト

■MBE装置 ■MOCVD装置 ■小型電気管状炉 ■アニール装置 ■VCSEL用酸化装置 ■各種Ｋセル ■KOHエッチング装置

住所601-8142
京都府京都市南区上鳥羽中河原町78
TEL075-693-3356
FAX075-693-3357
Webサイト・SNS https://www.epiquest.co.jp
[E-85] キヤノンアネルバ（株）

キヤノンアネルバ（株）

■研究開発用スパッタ装置 ■半導体製造装置

住所215-8550
神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
TEL044-980-5121
FAX044-980-4014
Webサイト・SNS https://anelva.canon/
[E-15] ケニックス（株）

ケニックス（株）

■圧力勾配式スパッタ装置(実機) ■圧力勾配式スパッタカソード(実機) ■プラズマクラッキングセル(実機) ■石英・セラミックス微細加工品

住所670-0935
兵庫県姫路市北条口2-15　小山ビル501
TEL079-283-3150
FAX079-280-3002
Webサイト・SNS http://www.kenix.jp/
[E-87] （株）魁半導体
-次世代の接合技術―プラズマで無限の可能性-

（株）魁半導体

■卓上大気圧プラズマ ■卓上真空プラズマ ■ディップコーター

住所600-8897
京都府京都市下京区西七条御前田町50
TEL075-204-9589
FAX050-3488-5883
Webサイト・SNS https://sakigakes.co.jp/
[E-90] 産総研ナノプロセシング施設
-共用施設で微細加工・分析評価！-

産総研ナノプロセシング施設

■産総研の共用施設ナノプロセシング施設他を紹介するポスター、パンフレット、試作サンプルを展示します。

住所305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1　つくば中央事業所2群
TEL029-862-6716
Webサイト・SNS https://www.tia-kyoyo.jp/page/dir000004.html
[E-89] サンユー電子（株）

サンユー電子（株）

■ディスクトップRFスパッタ装置 SVC－700RFIII ■DESK TOP QUICK COATER 小型スパッタ装置SCシリーズ ■卓上型真空蒸着装置 SVCシリーズ

住所169-0073
東京都新宿区百人町1-22-6
TEL03-3363-3551
FAX03-3364-2892
Webサイト・SNS https://www.sanyu-electron.co.jp/
[E-92] （株）信光社
-創業77年 横浜の単結晶のメーカー-

（株）信光社

■酸化物単結晶および基板

住所247-0007
神奈川県横浜市栄区小菅ケ谷2-4-1
TEL045-892-4739
FAX045-892-2986
Webサイト・SNS https://www.shinkosha.com/
[E-97] （株）菅製作所
-新しい価値を協働で創造します-

（株）菅製作所

■研究・開発⽤⼩型ALD装置「SAL1000デスクトップALD装置」

住所049-0101
北海道北斗市追分3-2-2
TEL050-3734-0730
FAX0138-49-8661
Webサイト・SNS https://agus.co.jp/
[E-17] （株）スプリード

（株）スプリード

■ALD装置 ■スパッタ装置 ■蒸着装置 ■真空コンポーネント

住所206-0801
東京都稲城市大丸422-1
TEL042-379-4655
FAX042-379-4656
Webサイト・SNS https://www.splead.jp/
[E-96] TNSシステムズ（同）

TNSシステムズ（同）

■YAGレーザー薄膜加工システム ■ワイヤーボンダ― ■ダイボンダ― ■電気計測関連装置および部品 ■小型真空装着装置 ■各種特注装置

住所271-0077
千葉県松戸市根本14-2-707
TEL047-703-1500
Webサイト・SNS http://tns-systems.jp/
[E-110] テガサイエンス（株）

テガサイエンス（株）

■ジュール式多目的真空成膜装置：HEXシステム ■UHVナノ粒子生成ソース：NanoStreamシリーズ

住所277-0832
千葉県柏市北柏3-5-4
TEL04-7168-5311
Webサイト・SNS https://www.tegascience.co.jp/
[E-1] ハイソル（株）
-半導体製造装置の輸入販売、開発・設計も対応-

ハイソル（株）

■ダイボンダー ■ワイヤーボンダー ■フリップチップボンダー ■ウエハへき開装置 ■プローバー ■スピンコーター

住所110-0005
東京都台東区上野1-17-6
TEL03-3836-2800
Webサイト・SNS https://www.hisol.jp/
[E-91] （株）ハイテック・システムズ

（株）ハイテック・システムズ

■Annealsys社製 高速熱処理(RTP)装置 ■NEOCERA社製 パルスレーザー蒸着(PLD)装置 ■Plasmionique社製 熱蒸着・成膜装置 ■Veeco社製 原子層堆積(ALD)装置

住所222-0033
神奈川県横浜市西区高島1-1-2　横浜三井ビルディング19階
TEL045-36-9780
Webサイト・SNS https://www.hightec-sys.com/
[E-96] （株）プリウェイズ
-装置の製作からサンプルの試作まで-

（株）プリウェイズ

■高精細印刷装置 ■卓上コーター

住所305-0044
茨城県つくば市並木1-1　物質・材料研究機構
TEL029-860-4918
Webサイト・SNS http://priways.co.jp/
[E-88] BENEQ（株）
-ALD装置のプロバイダ Beneq-

BENEQ（株）

■TFS200、TFS500、等： Beneq TFS 200は、学術研究および企業のR＆Dに適した、これまで設計されたもののうち最も高い柔軟性を誇るALD研究プラットフォームです。

住所222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-5-14　WISE NEXT新横浜3階
TEL045-285-9438
Webサイト・SNS https://beneq.com/jp/
[E-6] （株）マイクロジェット
-ペロブスカイト太陽電池・有機半導体の試作-

（株）マイクロジェット

■インクジェット研究開発用装置LaboJet

住所399-0732
長野県塩尻市大門五番町79-2
TEL0263-51-1734
FAX0263-51-1735
Webサイト・SNS https://www.microjet.co.jp/