講演情報
[10a-A22-13]フェムト秒レーザー表面加工によるフォトディテクタの偏光の付与
〇染田 裕輝1、早崎 芳夫1 (1.宇都宮大学オプティクス教育研究センター)
キーワード：
フォトディテクタ、フェムト秒レーザー、ホログラフィックレーザー加工
本発表では，フェムト秒レーザーを用いたレーザーテクスチャリングによるフォトディテクタ(PD)の特性変化を報告する．本研究の特徴は，レーザー加工を行いつつ，PDの光電流をその場(in-situ)計測することにある．本研究では，これらの条件に加えて偏光特性を計測し，レーザーテクスチャリングによる偏光感度特性と形成される微細構造について議論する．