[10a-A22-1~13] 3.6 レーザープロセシング

9:15 〜 9:30

[10a-A22-2] レーザーダイシングのためのホログラフィック長集光ビームの生成領域

〇黒尾 奈未¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大オプティクス)

キーワード：

ビーム成形レーザー加工、計算機ホログラム、空間光変調素子

空間光変調素子に計算機ホログラムを表示させることで実現されるホログラフィックビーム成形
技術を用いて,光軸方向のビーム成形が実現される.本報告では,レーザー孔開けやレーザーダ
イシングのための長集光ビームの3次元的な再生性能について述べる.