講演情報
[10a-A22-5]精密加工のためのサブナノメートル精度シングルショット白色干渉顕微鏡の開発
〇川満 亮輔1、青木 隆朗1,2、谷 峻太郎3 (1.早大理工、2.理研RQC、3.理研光量子)
キーワード：
白色干渉顕微鏡、レーザープロセシング
高性能光学素子のレーザー加工には高精度な表面形状評価を行い、加工条件を最適化することが重要である。評価に用いる従来の白色干渉顕微鏡（WLI）は、機械的な走査を伴うため、構造の複雑化や環境振動による測定精度の劣化が課題であった。本講演では、1回の露光で表面高さを取得する「シングルショット測定法」を開発し、高精度な形状評価を実現したことを報告する。