[10a-C310-1~14] CS.9 6.3 酸化物エレクトロニクス、6.4 薄膜新材料のコードシェアセッション

12:00 〜 12:15奨励賞エントリー

[10a-C310-12] 準安定Ce₂O₃エピタキシャル薄膜の作製

〇(DC)吉村 充生¹、太田 裕道² (1.北大院情報、2.北大電子研)

キーワード：

酸化セリウム、固体電気化学、準安定相

酸化セリウムは、酸素欠損濃度に応じてホモロガス相を形成し、CeO₂に近い組成をもつ安定相については、これまで数多く研究されてきた。一方、立方晶bixbyite型Ce₂O₃は準安定相であり、熱的にも不安定であるため、作製が困難であった。これに対し、我々はPt/SrCoO_x/CeO₂/YSZ/Ptの積層構造を空気中280℃で電気化学還元した後、SrCoO_x層を炭酸水で除去することによって、Ce₂O₃エピタキシャル薄膜の作製に成功した。