[10a-C310-1~14] CS.9 6.3 酸化物エレクトロニクス、6.4 薄膜新材料のコードシェアセッション

9:30 〜 9:45

[10a-C310-3] 量子カスケードレーザー応用に向けたZnO/MgZnO超格子のPLD成長

〇増田 達也¹、佐藤 利弘²、関根 徳彦³、寶迫 巌³、波多腰 玄一¹、鯉沼 秀臣¹、高橋 竜太⁴ (1.SCT Inc.、2.バキュームプロダクツ、3.情報通信研究機構、4.日大工)

キーワード：

ZnO/MgZnO超格子、パルスレーザー堆積法、量子カスケードレーザー