[10a-E218-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

9:45 〜 10:00

[10a-E218-4] MgO成膜温度がa-Ge/MgO 構造の固相成長に及ぼす影響

〇(B)山田 晴己¹、淵脇 悠史¹、光永 尚人¹、高倉 健一郎¹、佐道 泰造²、角田 功¹ (1.熊本高専、2.九州大学)

キーワード：

固相成長法