[10a-F212-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

9:00 〜 9:15

[10a-F212-1] ホウ素ドーピングプロファイルがダイヤモンドMOSFETの電気特性に与える影響

〇劉 江偉¹、寺地 徳之¹ (1.物材機構)

キーワード：

ダイヤモンド