[10a-F212-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

9:15 〜 9:30

[10a-F212-2] Py/Al₂O₃/p型ダイヤモンドMOS構造におけるトラップアシストトンネリング

〇河野 慎¹、アメル トマ¹、パーク イアン¹、谷保 芳孝¹、平間 一行¹ (1.NTT物性研)

キーワード：

ダイヤモンド、MOSダイオード、トンネリング