講演情報
[10a-PA4-10]ラマン5ピーク分離解析を用いたDLC膜のロックウェル圧痕損傷挙動の評価
〇梅原 啓吾1、小佐野 芳寿1,2、中谷 達行2 (1.三菱鉛筆、2.岡山理大)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン薄膜、ラマン分光法、ロックウェル圧痕試験
本研究では、Diamond-like Carbon（DLC）膜のロックウェル圧痕周辺に発生するクラックを画像解析により定量化するとともに、ラマンスペクトルの5ピーク分離解析を適用し、膜の損傷挙動と炭素構造との関係を評価した。その結果、基板の変形に誘起されるDLC膜のクラック形成挙動はラマンスペクトルの5ピーク分離解析により得られる炭素構造情報と関連付けて評価できることが示された。