講演情報
[10a-PA4-23]ニッケルの炭素固溶反応を用いたダイヤモンド(111)基板の薄膜化
〇新実 秀汰1、小林 和樹1,2、市川 公善1,2、山崎 聡1,2、猪熊 孝夫1,2、松本 翼1,2、徳田 規夫1,2,3、林 寛1,2,3 (1.金沢大、2.ダイヤモンド研究センター、3.未来視内視鏡講座)
キーワード：
ダイヤモンド
ダイヤモンドはパワーエレクトロニクスや量子デバイスへの応用が期待されている。近年、薄膜単結晶ダイヤモンドを異種基板へ接合する研究が進む一方、従来の薄膜作製法では加工損傷や結晶欠陥が課題である。そこで本研究では、低損傷加工が期待されるNi中への炭素固溶反応を利用し、ダイヤモンド(111)基板の薄膜化技術を開発した。本発表では、加工異方性、表面形態、欠陥導入を評価し、本手法の有用性を議論する。