[10a-PA4-1~26] 6.2 カーボン系薄膜

[10a-PA4-24] 同一基板上に集積化したダイヤモンドDRAMセルの試作

〇松浦 諒馬¹、奥野 朝陽¹、関 裕平¹、梅沢 仁^2,3、金子 純一^1,3 (1.北大院工、2.産総研、3.大熊ダイヤモンドデバイス)

キーワード：

ダイヤモンド、電界効果トランジスタ