講演情報
[10a-PA4-3]原子状水素照射したフッ素含有ダイヤモンドライクカーボン薄膜の組成分析
〇春山 雄一1、部家 彰2、住友 弘二2、伊藤 省吾2 (1.兵県大高度研、2.兵県大工)
キーワード：
フッ素含有ダイヤモンドライクカーボン、原子状水素、光電子分光
フッ素含有ダイヤモンドライクカーボン薄膜に対する原子状水素照射の影響を光電子分光により調べた。F 1s強度とC 1s強度の比（F/C）は、照射時間30分まで急激に減少するが、それ以降、照射時間を増加させると若干増加し、F/C =1付近で飽和した。フッ素含有ダイヤモンドライクカーボン薄膜に原子状水素を照射すると照射前に比べてフッ素が減少することが示された。