[10a-PA4-1~26] 6.2 カーボン系薄膜

[10a-PA4-8] 窒素含有非晶質炭素膜被覆QCM素子の湿度影響

〇(M1)加藤 透和¹、石黒 康志²、金杉 和弥¹、平栗 健二¹ (1.東京電機大工、2.防衛大)

キーワード：

ガスセンサ