講演情報
[10a-PB1-29]低ダメージITOスパッタ成膜により中間層を挿入した順構造型ペロブスカイト太陽電池の特性評価
〇薄田 龍輝1、岩田 寛1,2、齋藤 直1、宮坂 力1、池上 和志1 (1.桐蔭横浜大、2.アドバンスト・スパッタテック)
キーワード：
ペロブスカイト、低ダメージスパッタ成膜、耐久性
ペロブスカイト太陽電池（PSC）の長寿命化・タンデム化に向け光透過性ITOの導入が求められるが、従来のスパッタによる下地層へのダメージが課題であった。本研究では低ダメージスパッタ成膜法により、順構造型PSCにITO中間層を挿入した素子を作製した。自動滴下装置付きスピンコータで成膜後の平滑性を確保し、光電変換特性や耐久性を評価した。デバイスの耐久性や将来の量産におけるロバストネス向上を目指す。