講演情報
[10p-A31-10]ミスト CVD 法による YBa2Cu3O7 薄膜の直接成膜の検討
〇(M1)柴田 尚弥1、堀内 亮1、松本 明善2、曽我部 友輔1、井上 昌睦3、寺西 亮4、池之上 卓己1 (1.京大、2.NIMS、3.福岡工大、4.九大)
キーワード：
YBCO、ミストCVD、REBCO
YBCOは超伝導線材への応用が期待されており、低コストかつ生産性の高い常圧プロセスの確立が求められている。本研究では、ミストCVD法で、成膜時に酸素を供給することで炭素含有種の熱分解を促進し、YBCO 薄膜の直接成膜を試みた。得られた膜のXRDパターンには、YBCO (00l) 由来のピークが観察され、YBCO (103), BaCO3, Y2O3 も観察されたが、直接成膜の可能性が示された。