講演情報
[10p-A33-2]構造化光を用いた二次元シングルショットOCTによるスペックル雑音除去
〇佐藤 寛太1、福田 渓人1、小野寺 柊人1、塩田 達俊1 (1.埼玉大理工)
キーワード：
光干渉断層計測、スペックル
微細孔構造の高精度なインライン検査に有効な2次元シングルショットOCTにおいて，画像の判別を妨げるスペックルノイズが課題である．本研究ではノイズ除去のため，構造化機構としてシリンドリカルレンズアレイを導入した．素子のピッチや開口数(NA)を変更して粗面を測定し，変動係数を評価した．その結果，変動係数はNAの2乗に比例し，NAが小さいほどノイズ低減率が向上することが判明し，最適な光学設計指針を得た．