講演情報
[10p-A33-4]トモグラフィック分光法による組成と厚さの同時計測
〇小野寺 柊人1、ファルジャナ ビルキス1、梶山 貴弘1、村澤 聡笑1、佐藤 寛太1、高宮 健吾1、塩田 達俊1 (1.埼玉大理工)
キーワード：
OCT、トモグラフィック分光法、複素屈折率
製造業の品質管理に向け、高速・非破壊で物性を評価するトモグラフィック分光法を提案する。本手法は干渉光スペクトルのフーリエ変換から各界面の振幅反射率を取得し、Kramers-Kronig変換を経て各層の複素屈折率と厚さを逐次算出する。シリコン基板による3層モデルで検証した結果、2層目の屈折率3.5、厚さ503μm、吸収係数0.05を実験的に得て、後方空気層も含めた本手法の有効性を確認した。