講演情報

[10p-C309-11]多結晶Ge薄膜成長における圧力印加効果

〇小川 顕1、野沢 公暉1、清野 碩1、末益 崇1、都甲 薫1 (1.筑波大院)

キーワード:

固相成長、Ge、多結晶薄膜