講演情報
[10p-E202-5]ダイヤモンドとの格子整合を有するNi-Cu合金単結晶の育成と評価
〇熊谷 毅1、田勢 美雪1、安藤 宏孝1、高橋 和也1、石地 耕太朗2、鈴木 茂3、杉山 和正4、福田 承生1 (1.福田結晶研、2.九州シンクロ、3.東北大μSIC、4.東北大金研)
キーワード：
単結晶、CZ法、ダイヤモンド
単結晶ダイヤモンドは次世代パワー・量子デバイス材料として期待されているが、大口径自立基板の供給が課題である。本研究では、S-CZ法により<100>、<111>、<110>方位のNi-Cu合金単結晶を育成し、基板特性を評価することでダイヤモンド成長用基板としての適用可能性を検討した。