講演情報
[10p-E203-9]微小浮遊電位電極を用いたCNTの誘電泳動集積の均質化と
NO2ガスセンサ応答への影響
〇三堂 智揮1、稲葉 優文2、中野 道彦3、吉田 敬1 (1.九州大、2.関西大、3.立命館大)
キーワード：
カーボンナノチューブ、ガスセンサ、誘電泳動
我々は、誘電泳動を用いてCNTを集積させたNO₂ガスセンサの作製において、CNT集積の不均一性に課題があった。その解決のため、電圧印加電極間に多数の微小浮遊電位電極を配置し、集積の均質化を試みた。この手法により均質性は向上したものの、浮遊電位電極がセンサ特性へ及ぼす影響は未解明であった。本研究では、微小浮遊電位電極を用いて作製したCNTガスセンサのNO₂応答特性を調べた。