2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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15:45 〜 16:00
[10p-E206-9]
ナノ結晶シリコン/酸化シリコン複合膜の構造特性が熱処理後のパッシベーション効果に及ぼす影響
〇高木 香
1
、黒川 康良
2,4,5
、増田 淳
1,3
、宇佐美 徳隆
4,5,6
、後藤 和泰
1,3
(1.新潟大自然研、2.関西大院理工、3.新潟大 IRCNT、4.名大院工、5.名大未来機構、6.名大未材研)
キーワード:
シリコン太陽電池、パッシベーティングコンタクト
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