[10p-E207-1~12] 22.1 合同セッションM「フォノンエンジニアリング」

16:30 〜 16:45

[10p-E207-12] Mg₂Si微小熱電発電デバイスの開発

〇(M1)高山 開智¹、林 竜也¹、小塚 裕介^1,2、柏木 誠¹、志村 考功¹、渡邉 孝信¹ (1.早大理工、2.NIMS)

キーワード：

熱電発電、半導体、ゼーベック効果

CMOSプロセスと互換性のあるスパッタリング法を用いて、Mg₂Si薄膜を形成するプロセスを開発した。同プロセスを用い、SOI基板上にMg₂Si薄膜でできた微小熱電発電デバイスを作製し、その電気特性、熱電性能を評価し、結果を報告する。