講演情報

[10p-E215-9]多段階成長プロセスによるFeシリサイドコア/Siシェルドットのサイズ制御と発光特性評価

〇矢野 瑛汰1、今井 友貴1、山本 裕司1,2、Markus Andreas Schubert2、牧原 克典1,2 (1.名大院工、2.IHP)

キーワード:

Feシリサイド