2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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15:45 〜 16:00
[10p-E215-9]
多段階成長プロセスによるFeシリサイドコア/Siシェルドットのサイズ制御と発光特性評価
〇矢野 瑛汰
1
、今井 友貴
1
、山本 裕司
1,2
、Markus Andreas Schubert
2
、牧原 克典
1,2
(1.名大院工、2.IHP)
キーワード:
Feシリサイド
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