[10p-E308-1~18] 6.6 プローブ顕微鏡

16:45 〜 17:00

[10p-E308-13] Cu₂O 表面における半導体微細配線防食膜形成過程の液中AFM解析

〇林 海斗¹、岡 大輝¹、余川 朋希¹、宮田 一輝¹、宇野 恵²、高東 智佳子²、福間 剛士¹ (1.金沢大、2.荏原製作所)

キーワード：

原子間力顕微鏡