講演情報
[10p-E308-5]基準電位制御法を導入した時間分解静電力顕微鏡
〇荻野 旭1、竹本 開太1、佐藤 捷1、石橋 亮太1、高橋 琢二1 (1.東大生研)
キーワード：
時間分解静電引力顕微鏡、ポンププローブ
時間分解静電力顕微鏡（Tr-EFM）において、急峻なポンプパルスが誘起するカンチレバーの共振振動（信号のうねり）が課題となっていた。本研究では、遅延時間掃引時も静電引力の直流成分が一定となる入れ子状のパルス波形を提案した。SiO2/Si試料を用いた実験により、従来のユニポーラ型で生じていた大きな信号変動を抑制できることを実験的に確認した。