講演情報
[10p-E311-11]ファセット電子源のクーロン効果における曲率半径依存性のシミュレーション解析
〇早田 康成1、里見 昂哉1 (1.筑波大数理)
キーワード：
電子ビーム、クーロン効果、走査電子顕微鏡
走査電子顕微鏡用のファセット電子源におけるクーロン効果の曲率半径依存性を調べた。大きな曲率半径ではファセット端近傍の電子放出の影響でトータル電流が大きく、エネルギー分散を大きくするが、引き出し電圧が高いために飽和換算輝度を高くすることが出来る。このために最適な曲率半径は換算輝度の大きさに依存することになる。