[10p-E311-1~13] 7.2 電子ビーム応用

15:30 〜 15:45奨励賞エントリー

[10p-E311-8] 電界イオン顕微鏡像における結晶面抽出のアルゴリズム開発

〇内藤 亮太¹、後藤 康仁¹ (1.京大院工)

キーワード：

電界イオン顕微鏡

FIM像において、原子位置や対称軸、結晶面を抽出するアルゴリズムの開発を行った。タングステンのFIM像において、結晶面を一定の精度で抽出できることを確認した。輝点の配置をもとに結晶面を抽出するため、同じアルゴリズムを用いて様々な試料におけるFIM像の分析が可能となる。