講演情報
[10p-N101-7]窒素添加水素プラズマを用いたダイヤモンド(111)原子的平坦面への
選択エッチング＆選択埋込成長
〇吉田 利紅1、小林 和樹1,2、市川 公善1,2、林 寛1,2、山崎 聡2、猪熊 孝夫1,2、松本 翼1,2、徳田 規夫1,2 (1.金沢大学、2.ダイヤモンド研究センター)
キーワード：
ダイヤモンド、エッチング、成長
本研究では、メタルマスクを用いた場合と用いない場合の原子的平坦面上への選択埋込成長挙動を比較するため、窒素添加水素プラズマによる選択エッチング後、高濃度窒素ドープダイヤモンドのラテラル成長を用いた選択埋込成長を検討した。その結果、メタルマスクを用いた場合には縁部に溝状の凹構造が形成され、用いない場合とは異なる成長挙動が確認された。本発表ではメタルマスクの有無による選択成長メカニズムを議論する。