講演情報

[10p-PA1-8]レーザー誘起表面周期構造の縞の方向に対する走査と偏光の影響

〇松尾 繁樹1、竜 宇熙1 (1.芝浦工大工)

キーワード:

レーザー誘起表面周期構造、走査、偏光

楕円偏光のフェムト秒レーザーパルスを走査しながらシリコン基板に照射し,レーザー誘起表面周期構造を形成した。形成される縞の方向に影響する要因としては,「走査方向」と「楕円偏光の長軸の方向」がある。この二つが矛盾するような条件で実験を行ったところ,楕円偏光が直線偏光に近いほど偏光の影響が強くなった。また,走査におけるパルス間距離の影響もあった。