[10p-PA1-1~12] 3.6 レーザープロセシング

[10p-PA1-9] フェムト秒レーザーを用いた基板上金ナノ薄膜のシングルショット加工

〇杉 太陽^1,2、上杉 祐貴³、小澤 祐市¹ (1.東北大多元研、2.東北大院工、3.産総研)

キーワード：

フェムト秒レーザー、ナノ薄膜

フェムト秒レーザーによる薄膜微細加工技術の適用範囲拡大を目的として、SiO₂基板上に形成したAu薄膜のシングルショット加工を行った。照射フルエンスを変化させて加工した結果、開孔加工やAu構造の残留など、フルエンスに応じて異なる微細構造が形成された。本講演では、SEMおよびEDSによる観察結果を基に、加工形状の形成条件とその特徴について報告する。