講演情報
[10p-PA2-11]低熱伝導ハイエントロピーアモルファス薄膜の創製
〇(P)佐々木 道子1、徐 一斌1、諸永 拓1、中村 晶子1、原 徹1、後藤 真宏1 (1.物材機構)
キーワード：
スパッタリング、ハイエントロピー、低熱伝導
材料科学では，新材料としてハイエントロピー材料（HEMs）が注目されている。HEMsは多元素からなる材料で，低熱伝導材料への応用が期待される。本研究では，空隙の影響を排除できる緻密なハイエントロピーアモルファス薄膜を独自のコンビナトリアルスパッタ法で作製し，熱伝導特性を評価した。その結果，従来合金を大きく下回る極めて低い熱伝導率を示すHEMsアモルファス薄膜を見出した。