[10p-PA2-1~38] 6.4 薄膜新材料

[10p-PA2-13] トポケミカルフッ化反応によるYCaFe₂O_xF_y単結晶薄膜の組成制御

〇(M2)築地 怜奈¹、上垣外 明子¹、廣瀬 靖²、片山 司³、近松 彰¹ (1.お茶大理、2.都立大理、3.東理大理)

キーワード：

パルスレーザー堆積法、酸フッ化物薄膜、トポケミカルフッ化反応