2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[10p-PA2-23]
水素化物薄膜の物性評価に向けた無機/有機複合保護膜の開発
〇高橋 紀々子
1
、福士 英里香
1
、森 史弥
1
、齋藤 謙太
1
、木須 一彰
1
、大口 裕之
1
(1.芝浦工大理工)
キーワード：
水素化物薄膜
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