[10p-PA2-1~38] 6.4 薄膜新材料

[10p-PA2-7] 共スパッタリング法によるCoTe_xの薄膜成長

〇(M1)青木 力良¹、藤原 宏平¹ (1.立教大理)

キーワード：

スパッタリング成長