講演情報
[10p-PB1-18]Cu 過剰組成を有する混合ターゲットを用いた DC スパッタによるCu2O薄膜の成膜と評価
〇(M1)村山 侑太郎1、関口 晨雄1、畑川 健勝1、宮島 晋介1 (1.科学大工)
キーワード：
太陽電池、Cu2O、DCスパッタリング
タンデム太陽電池に向けた高品質Cu2O薄膜の作製を目的とし、Cu過剰組成の混合ターゲットを用いたDCスパッタリングおよび成膜後のアニール処理を検討した。アニール処理における昇温時間と保持時間を変化させた結果、時間延長により結晶性と透過率が向上する一方、過剰な酸化によるCuO生成に起因してキャリア拡散長が急減することが判明した。本発表では、高品質薄膜を得るための最適な熱処理条件について報告する。