[10p-PB1-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-PB1-26] Nd:YAGレーザーを用いたPLD法における酸化物ターゲット表面形状評価

〇越智 琢斗¹、浅野 優斗¹、平 智幸¹、篁 耕司¹ (1.旭川高専)

キーワード：

酸化物半導体、PLD、ターゲット

パルスレーザー堆積(PLD)法において、ターゲット表面の経時変化は薄膜の構造に影響する可能性がある。本研究ではNd:YAGレーザー照射後に形成される照射痕の表面形状を評価することを目的とした。TiO₂ターゲットの観察では照射痕に5µmの深さの凹部の他局所的な凹凸がみられた。局所加熱や再凝縮が原因として考えられる。表面変化が格子歪みやドロップレット発生に与える影響について他材料の結果も交え報告する。