Presentation Information
[10p-PB1-26]Surface morphology of oxide targets in pulsed laser deposition using Nd:YAG laser
〇Takuto Ochi1, Yuto Asano1, Tomoyuki Taira1, Koji Takamura1 (1.NIT(KOSEN), Asahikawa College)
Keywords:
Oxide Semiconductor,PLD,target
パルスレーザー堆積(PLD)法において、ターゲット表面の経時変化は薄膜の構造に影響する可能性がある。本研究ではNd:YAGレーザー照射後に形成される照射痕の表面形状を評価することを目的とした。TiO2ターゲットの観察では照射痕に5µmの深さの凹部の他局所的な凹凸がみられた。局所加熱や再凝縮が原因として考えられる。表面変化が格子歪みやドロップレット発生に与える影響について他材料の結果も交え報告する。