[10p-PB1-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-PB1-27] PLDを用いた酸化ガリウム配向薄膜の作製とその評価

〇白木 将¹ (1.日工大)

キーワード：

薄膜、酸化ガリウム、光触媒

PLD法によりAl₂O₃(0001)基板上へGa₂O₃薄膜を作製し、構造・組成・光学特性を評価した。XRDおよび逆格子マップ測定から、β-Ga₂O₃(-201)配向成分とγ-Ga₂O₃(111)配向成分の混在を確認した。紫外可視光分光より、バンドギャップは4.8 eVと見積もられた。オージェ電子分光による表面組成評価についても報告する。