[10p-PB1-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-PB1-4] しゅう酸酸化バナジウム水溶液を用いたミストCVD法で成膜したVO₂膜の結晶相におよぼす熱処理効果

〇伊藤 亜寿香¹、田橋 正浩¹、後藤 英雄¹ (1.中部大)

キーワード：

酸化バナジウム、ミストCVD