[10p-PB1-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-PB1-5] VO₂薄膜とLi⁺固体電解質を用いた全固体酸化還元トランジスタ

〇(M2)山田 泰聖¹、江川 尚宏¹、在原 直哉¹、樋口 透¹ (1.東理大)

キーワード：

VO2薄膜、全固体トランジスタ

VO2薄膜とLi⁺固体電解質Li3PO4/LiCoO2からなる全固体トランジスタを作製し、Li+の挿入・脱離に伴う酸化還元反応によりVO2薄膜の電気特性の変調を実現した。