講演情報
[10p-PB3-34]段差を越えるパターニング技術を活用した3次元磁性細線の作製
〇(M2)井川 結衣子1、佐々木 実1、粟野 博之1、田辺 賢士1 (1.豊田工大)
キーワード：
磁性細線
高密度化や低消費電力等の特徴がある磁壁レーストラックメモリは、提案されて以来、3 次元（3D）化によるさらなる高密度化が期待されてきた。これまでの3D化手法はプロセスが複雑で大面積化、集積化、再現性に課題がある。また、大面積化に適した 2D パターニング技術では立体構造への適用は容易ではない。そこで本研究では、立体へのパターニング技術を用いて、3D 磁性細線の作製を試みたので報告する。